|
Цель курса: ознакомить аудиторию с основными технологиями, конструкциями и принципами проектирования элементов нано- и микросистемной техники.
Программа курса формирует компетенции в области технологии нано- и микросистем, принципов работы различных МЭМС компонентов и сенсорных микроструктур, обобщенных подходов к проектированию элементов микросистемной техники, специализированных САПР МЭМС.
|
